在线式洁净无氧固化炉 IGBT模块灌胶烘烤固化

品牌：浩宝

型号：HGO

产地：中国

浩宝HGO在线式洁净氮气固化炉全自动、高洁净、低残氧

浩宝HGO在线式洁净氮气固化炉 SiC 烧结银膏/IGBT模块灌胶烘烤固化设备

伴随着电子及新能源产业的发展，功率半导体、半导体等领域的封装需求快速发展。但SiC、IGBT等模块或器件封装时，

需求全自动批量生产、低残氧量、高洁净度的烘烤固化设备，而目前设备难以满足，造成所用人工多、烘烤时产品易氧

化、洁净度不达标等弊端，导致固化效率低、良品率低、成本高等问题。  

针对以上痛点，浩宝技术团队研发出一款在线式洁净氮气垂直固化炉，可全自动批量化生产，有效避免器件氧化，洁净

度高，为半导体和功率半导体封装制造企业带来高效率、高良品率的解决方案。

在线式洁净无氧固化炉核心技术及优势

全自动生产,大幅减少人工

设备采用模块化结构、自动化生产设计,实现了上下料、烘烤、冷却等全自动、在线式生产,生产效率高，产能可根据客户

需求进行增减、调整。设备可对接MES系统,实现工业4.0,对设备进行远程监控和智能管理。

低残氧量,避免金属氧化

设备采用申请专利的独特结构及加热、冷却一体式腔体设计,可在加热和冷却过中充氮气进行保护,残氧量控制在500PPM

以内或更低，可有效避免金属等器件氧化。腔体设计、装配密封性好,耗氮量少,每个腔体仅12m/Hm³以内。

高洁净度,满足无尘化生产要求

设备采用无尘设计及特殊材质,避免传输和烘烤过程产生粉尘;并采用高效过滤和清洁系统,密闭性好,使得烘烤、冷却过程达到

万级、千级等更高洁净度,满足无尘化生产要求。

高均温性,出品一致性好

设备采用优秀的加热、温控模块及独特的风道、腔体设计,可确保高的加热效率和温度均匀性,均匀度+3℃以内使得烘烤固化

稳定，出品一致性高。